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        離子滲氮過(guò)程中，爐內(nèi)壓力穩(wěn)定是保證滲氮質(zhì)量的重要因素。離子滲氮壓力自動(dòng)控制有兩種控制方式：
        （1）變頻控制：
        由真空計(jì)、工控機(jī)、變頻器和真空泵電動(dòng)機(jī)組成爐內(nèi)壓力閉環(huán)自動(dòng)控制系統(tǒng)，采用PID自動(dòng)調(diào)節(jié)真空泵的轉(zhuǎn)速來(lái)實(shí)現(xiàn)爐內(nèi)壓力自動(dòng)控制。
        （2）比例調(diào)節(jié)閥：
        由真空計(jì)、工控機(jī)、比例調(diào)節(jié)閥組成爐內(nèi)壓力閉環(huán)自動(dòng)控制系統(tǒng)，采用PID自動(dòng)調(diào)節(jié)，通過(guò)調(diào)節(jié)蝶閥的開(kāi)啟角度改變真空泵的抽氣速率來(lái)實(shí)現(xiàn)爐內(nèi)壓力自動(dòng)控制。
        由于國(guó)外多采用高速直聯(lián)真空泵，無(wú)法進(jìn)行變頻調(diào)速，所以國(guó)外多通過(guò)比例調(diào)節(jié)閥自動(dòng)控制爐內(nèi)的壓力。
        青島豐東熱處理生產(chǎn)的離子滲氮設(shè)備配備二級(jí)真空系統(tǒng)，通過(guò)工控機(jī)、PLC，自動(dòng)整定PID參數(shù)，使外輔助加熱式離子氮化爐內(nèi)壓力實(shí)現(xiàn)閉環(huán)自動(dòng)化控制，壓力穩(wěn)定無(wú)突變。