離子氮化熱處理過(guò)程中正離子(N+)轟擊陰極表面使陰極的電子和原子(或分子團(tuán))脫離陰極表面,這種現(xiàn)象稱為陰極濺射。陰極濺射的特點(diǎn)是:
電壓低于某一值(閾值)時(shí)不會(huì)發(fā)生陰極濺射;
陰極位降越大,陰極濺射越強(qiáng)烈;
氣體壓強(qiáng)越小,濺射越大;
工件溫度越高,濺射越大。
濺射可以除去陰極表面的異物,起到凈化和活化工件表面的作用,所以離子法滲速要比氣體法滲速快。
濺射下來(lái)的活性粒子易于吸收氣體或與氣體反應(yīng)生成化合物,如離子滲氮過(guò)程中濺射起來(lái)的Fe與N反應(yīng)生成FexN粒子,起到滲氮載體的作用。
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