離子滲氮時(shí)，正離子在電場(chǎng)作用下到達(dá)置于負(fù)電位的零件表面和電子復(fù)合，因此要求零件表面清潔，不應(yīng)有油污、油漆和劃線用的辭色涂料等覆蓋層。電絕緣的薄層阻礙正離子到達(dá)陰極。此時(shí)正離子將聚集在絕緣層的外側(cè)，形成場(chǎng)致電場(chǎng)。場(chǎng)致電場(chǎng)增強(qiáng)到一定程度時(shí)，陰極產(chǎn)生場(chǎng)致電子發(fā)射，絕緣薄層被擊穿造成弧光放電，較強(qiáng)烈的放電將在零件表面上留下肉眼可見的傷痕。在零件上的小孔中或組合件的結(jié)合面上或焊接零件的空腔內(nèi)也不允許有油類等易揮發(fā)物。否則零件溫度升高，在會(huì)發(fā)物蒸氣溢出，由于局部氣氛和壓力有較大的變化，將引起持續(xù)不斷的電弧，一直到揮發(fā)物全部蒸發(fā)完后電弧才回停止。
集中的連續(xù)電弧給操作帶來(lái)困難，并大大延長(zhǎng)了升溫過(guò)程，還有可能造成油氣溢出出局部燒熔。因此，
離子滲氮零件首先要進(jìn)行徹底清洗。清洗的目的是為了盡量減少打弧，避免打大弧，保護(hù)滲氮零件和使?jié)B氮處理得以順利進(jìn)行。
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