氮化(氣體氮化、離子氮化、碳氮共滲、輝光離子氮化)零件的主要技術(shù)要求是有效滲氮層深度，表面硬度和局部硬度。某些零件還有滲氮層脆性等級評定要求，完成以上要求，都需顯微維氏硬度檢測進行測定。
滲氮層從金相組織劃分，包括從最外層化合物層(白亮層)到擴散層與基體組織明顯分界處為止的深度。顯微維氏硬度檢測，依據(jù)從工件表面測至與基體有明顯界定硬度值處的垂直距離。滲氮層深度以字母DN表示。
滲氮層深度硬度檢測方法:
1、試樣的準備
a、試樣應從滲氮零件上切取，如工件不能破壞，也可用與零件相同材料和相同處理工藝的小試樣切取后檢測。
b、試樣切取時要注意，應垂直滲氮層表面取樣(詳見金相試樣取樣方法)，取樣后進行必要的磨拋處理，在磨拋過程中應注意冷卻，不能使工件過熱，邊緣不要出現(xiàn)倒角等。
c、檢查滲氮層脆性的試樣，表面粗糙度要求>Ra0.25-0.63um但不允許把表面化合物層磨掉。
2、檢測
a、根據(jù)國標規(guī)定，一般選用顯微硬度計，檢測力通常選用0.3—1KG，從試樣表面測至比基體維氏硬度值高50HV處的垂直距離為滲氮層厚度。(通常采用梯式硬度測法，即從試樣表面開始，每間隔一定距離打一點)
b、基體硬度的取點與測定，一般在3倍左右滲氮層深度的距離處測得的硬度值(至少取3點，平均值)做為基體硬度值。
c、對于滲氮層硬度變化很平緩的鋼種，(如碳鋼、低碳合金鋼制件)，其滲氮層深度可以從試樣表面沿垂直方向測至比基體維氏硬度高30HV處。
d、當滲氮層深度有的特別淺，有的則較深時，檢測力可以在0.2KG范圍內(nèi)選擇(并注明，如HV0.2)
e、結(jié)果的表示，滲氮層深度用字母DN表示，深度以毫米計，取小數(shù)點后兩位。(如:0.35DN300HV0.3，表示滲氮層厚度為0.35mm，界限硬度值為300HV，檢測力為0.3KG)。
f、一般零件推薦的最小有效滲氮層深度(DN)及上偏差表單位/mm
總滲氮層深度是指氮滲入的總深度，一般是指從表面測量到與基體硬度或組織有明顯差別處的垂直距離，單位為mm，包括化合物層和全部擴散層。當零件以化合物層厚度替代DN要求時，應特別說明。厚度要求隨零件服役條件不同而變。
4、化合物層厚度
化合物層主要是Fe3N及少量Fe4N和Fe3C相所組成，化合物層硬度較高，提高了零件耐磨性和抗蝕性能。
一般零件推薦的化合物層厚度及公差表(單位/mm)
a、滲氮層脆性級別按維氏硬度壓痕邊緣碎裂程度分為5級
c、維氏硬度壓痕在顯微放大100倍下進行檢查，每件至少測3點，其中兩點以上處于相同級別時，才能定級。否則需重新檢驗。.
d、滲氮層脆性應在零件工作部位或隨爐試樣的表面上檢測，一般零件為1-3級為合格，重要零件1-2級為合格，對于滲氮后留有磨痕的零件，也可在磨去加工余量后的表面上進行測定
e、經(jīng)氣體滲氮后的零件，必須進行檢驗。
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