離子滲氮的優(yōu)點(diǎn)：與氣體滲氮相比，離子滲氮具有許多優(yōu)點(diǎn)，主要表象在：1、滲速快等離子體不僅供氮化能力強(qiáng)，而且可使工件表面活化，產(chǎn)生加速吸收和擴(kuò)散的缺陷，因而離子滲氮可以大大縮短滲氮時(shí)間，特別是淺層滲氮時(shí)更為突出。例如滲氮層深度在0.3~0.5mm時(shí)，離子滲氮的時(shí)間僅為普通氣體滲氮時(shí)間的1/3~1/5；2、滲層組織易于控制、脆性小氣體滲氮工件表面會(huì)出現(xiàn)20μm以上的化合物層，是由ε+γˊ兩相組成的不均勻混合物層，里層則為擴(kuò)散層。因此，在化合物層內(nèi)產(chǎn)生三向顯微應(yīng)力，若在此應(yīng)力方向上再略施加外力，就會(huì)產(chǎn)生微小裂紋。此裂紋逐漸擴(kuò)展而使整個(gè)化合物層剝落。含鉻、鋁滲氮鋼的化合物層很脆，氣體滲氮后均要把它磨去后才能使用。離子滲氮可以通過(guò)控制氣氛中的氮和碳的含量比，或N2和H2的比例，可以獲得5~30μm厚的脆性較小的ε相單相層或0~8μm厚的γˊ相單相層，也可得到韌性更優(yōu)的無(wú)化合物層而僅有擴(kuò)散層的滲氮層。這樣可以不需要磨削直接裝機(jī)使用；3、工件變形小因離子滲氮滲速快，所以滲氮時(shí)間大大縮短，又由于離子滲氮可以在更低的溫度下進(jìn)行（事實(shí)上350℃以上離子滲氮就有明顯的硬化效果），并且陰極濺射作用可以彌補(bǔ)部分由于滲氮而造成的尺寸膨脹，真空加熱、真空冷卻可以控制加熱速度，使之均勻，所以變形量比氣體滲氮要小；4、節(jié)能、省氣離子滲氮時(shí)，由于采用輝光放電加熱工件，電能利用率高（主要集中消耗在工件上），與其它滲氮法的外熱式裝置相比，耗電較少。此外，因離子滲氮速度快，周期短，則必然比普通氣體氮化能耗低。據(jù)統(tǒng)計(jì)，電能消耗僅為氣體滲氮的40%~70%。離子滲氮是在66.5~798Pa低氣壓下進(jìn)行的，離子滲氮的氣壓只相當(dāng)于普通氣體滲氮的百分之一以下，因此耗氣量極少，僅為氣體滲氮的百分之幾；5、無(wú)毒、無(wú)臭、無(wú)公害氣體滲氮，鹽浴滲氮均有污染問(wèn)題。離子滲氮可以用N2+H2、分解氨，無(wú)污染問(wèn)題。即使采用氨氣進(jìn)行離子滲氮，由于壓力很低，使用量極少，也不會(huì)產(chǎn)生公害及爆炸問(wèn)題。除上述優(yōu)點(diǎn)之外，離子滲氮還具有滲層性能（耐磨性、耐蝕性等）優(yōu)于氣體滲氮，設(shè)備維護(hù)費(fèi)用低，使用壽命長(zhǎng)，工作勞動(dòng)強(qiáng)度小的特點(diǎn)。
離子滲氮的不足之處：1、離子滲氮設(shè)備相對(duì)比較復(fù)雜，一次性的設(shè)備投資通常比氣體滲氮高；2、先進(jìn)的工藝裝備對(duì)勞動(dòng)者的素質(zhì)要求較高；3、準(zhǔn)確測(cè)定零件溫度較困難；4、離子滲氮的溫度場(chǎng)是不均勻的溫度場(chǎng)，要使所裝各工件（尤其是混裝）溫度均勻一致較困難，需積累一定的經(jīng)驗(yàn)。
