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真空系統(tǒng)主要由密封的爐體、真空橡膠管、蝶閥和真空泵組成。密封的爐體通過真空橡膠管、真空蝶閥與真空泵相連。
工作時，由真空泵將工作室抽成低真空狀態(tài)，由真空蝶閥控制抽氣速率。 真空度用電阻真空計、β真空計、水銀真空計或片膜式真空計測量。傳感器由爐底或爐蓋插入，將電信號送至真空計進(jìn)行測量。
青島豐東熱處理生產(chǎn)的離子氮化爐配備二級真空系統(tǒng)，通過工控機、PLC，自動整定PID參數(shù)，使離子氮化爐內(nèi)壓力實現(xiàn)閉環(huán)自動化控制，壓力穩(wěn)定無突變。