?。ㄒ唬?氣體組分
目前常用于離子滲氮的介質(zhì)有氨氣、熱分解氨、N2+H2等三種，在此基礎(chǔ)上，再加入少量乙醇、丙酮、二氧化碳、甲烷等作為碳的來源，即可實現(xiàn)離子軟氮化工藝。氨氣價格低廉、來源廣泛、使用方便，已經(jīng)成為使用最廣泛的離子滲氮介質(zhì)。但是使用氨氣存在以下缺點:氮勢不易控制，因此直接用氨氣進行離子氮化（或軟氮化）無法控制滲層組織。并且滲層存在一定得脆性。N2+H2的混合氣也在實踐中廣泛應(yīng)用:H2作為稀釋氣體加入，可以大大降低滲氮反應(yīng)的活化能，氫氣還起到還原零件表面氧化物的作用，以獲得活性的表面，降低了對設(shè)備漏氣率的要求，通過控制滲氮氣氛的氮勢，容易控制滲氮層的組織。
（二） 滲氮溫度
滲氮溫度是離子滲氮極為重要的工藝參數(shù)，生產(chǎn)上通常使用的滲氮溫度范圍為450-650℃。滲氮溫度低對結(jié)構(gòu)鋼而言能得到較高的滲層硬度、保持較高的心部強度、減少工件變形，但滲層較淺；580℃以上溫度的離子滲氮一般只用于高合金不銹鋼和含鈦、釩的快速氮化鋼，為了提高滲速、縮短生產(chǎn)周期，這類材料采用較高的氮化溫度。
?。ㄈ?氣體總壓力
離子滲氮時，氣體壓力（真空度）影響輝光放電特性，氣壓高時，輝光收縮集中；氣壓低時，輝光漫散。離子滲氮的工作氣壓范圍一般為100-1200Pa,生產(chǎn)中常用的氣壓范圍是200-600Pa
?。ㄋ模?電參數(shù)（電流、電壓）
離子滲氮時電壓和電流密度的大小主要取決于滲氮溫度、氣壓、陰陽極距離等。
電壓直接決定著陰極濺射強度，兩極間電壓越高，離子能量越大，陰極濺射越強烈。因此，電壓對化合物層相結(jié)構(gòu)，零件尺寸的膨脹量產(chǎn)生一定得影響。
實驗表明，輝光電流密度在0.5-20mA/cm2范圍內(nèi)改變時對滲層的硬度和深度沒有明顯的影響。
?。ㄎ澹?滲氮時間
滲氮時間的長短主要根據(jù)工件材料及工件所要求的滲層深度和滲氮溫度而定，短則幾分鐘，長則幾十小時。一般認為，擴散層深度與時間服從拋物線關(guān)系?；衔锏暮穸扰c時間的關(guān)系分為兩段，氮化初期，兩者間成直線關(guān)系，而后兩者間呈拋物線關(guān)系。離子滲氮初期氮的滲入速度最快，所以滲層深度要求0.2-0.3mm以下的零件，離子滲氮保溫時間只需6-12小時，因此，單純從經(jīng)濟角度看，這一滲層深度是最為合理的。
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