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        真空脈沖離子氮化是一項新技術(shù)，較傳統(tǒng)的離子氮化具有很多優(yōu)點，首先是脈沖離子氮化具有物理參數(shù)單獨控制、工藝參數(shù)獨立調(diào)節(jié)且變動范圍大的特性；由于脈沖電源對弧光放電的抑制作用，因此對于很多零件無需堵孔、可獲得高質(zhì)量的表面、絕無灼傷；能提高層深、節(jié)能、能提高設(shè)備的利用率；可在深孔、窄縫、微孔內(nèi)實現(xiàn)離子氮化。
        真空脈沖離子氮化工藝過程就是向真空爐中通入氨氣，即工件裝入真空爐后開始啟動機械泵抽氣，當(dāng)真空度達(dá)到設(shè)定值(多為1. 33Pa)時，通電升溫，同時繼續(xù)抽真空，保持爐內(nèi)的真空度，爐溫達(dá)到要求的滲氮溫度 后，保溫一定時間，然后停止抽真空，向爐內(nèi)通人干燥的氨氣，使?fàn)t壓升高至50～70Pa，保持一定時間，再抽真空并保持一定時間，再通入氨氣，如此反復(fù)進行多次，直到滲層達(dá)到要求為止。在整個氮化過程中爐溫保持不變。
        真空脈沖離子氮化后工件表面硬度較高，滲氮速度較普通氣體滲氮快很多，如38CrMoAl鋼，經(jīng)550℃×10h真空脈沖滲氮較普通氣體滲氮540℃×33h具有相近的氮化層深度。
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