1.真空測量儀表
1)壓縮式轉(zhuǎn)動真空計
采用壓縮式轉(zhuǎn)動真空計可以測量爐內(nèi)非可凝性氣體的壓強(qiáng),測得數(shù)值的重復(fù)性好,也較正確,但不能連續(xù)測量。因有水銀蒸發(fā),使用時不宜與爐子長期聯(lián)通,每次測定完畢,應(yīng)將真空皮管夾緊密封。在沒有正確測量儀表的條件下,尤其是工藝試驗需要較準(zhǔn)確測量壓強(qiáng)時
2)電阻真空計
利用熱導(dǎo)原理制成的電阻真空計,是一種價格較為便宜的儀表。但在離子滲氮中應(yīng)用,由于氫氣的存在,它的熱導(dǎo)率與氮、空氣等比較,相差近七倍,故其所測數(shù)值誤差大,尤其在高壓強(qiáng)時指示值能超出量程,但作為爐體極限真空度或起輝前真空度的測試,還可使用。
3)膜片式真空計
日本離子滲氮設(shè)備配帶膜片式真空計和我國半自動控制型離子滲氮設(shè)備配帶的膜片式真空計,都是在膜片上裝有應(yīng)變元件組成電橋,規(guī)管一端接參考真空室,一端接被測爐體的型式。試用中發(fā)現(xiàn)這種真空計和被測氣體的成分關(guān)系不大,但有零點飄移和膜片的復(fù)原時間較長等缺點,且價格較貴。
2.爐壓控制系統(tǒng)
離子滲氮爐內(nèi)的氣壓是氣流動態(tài)平衡的結(jié)果,爐壓控制可以采用固定抽氣速率,調(diào)整進(jìn)氣流量或無固定進(jìn)氣流量,調(diào)整抽氣速度兩種方法來實現(xiàn)。

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