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        離子滲氮設(shè)備的極限真空度根據(jù)離子滲氮爐技術(shù)條件規(guī)定不應(yīng)低于5*10^-2托壓升率不大于1微米汞柱/分。設(shè)備的漏氣率等于壓升率和真空容積的乘積，單位是托·升/分或托·升/秒。漏氣率的大小意味著滲氮?dú)夥罩泻锌諝饬康亩嗌?，也就是一個(gè)含氧量的問題。離子滲氮時(shí)，少量氧的加入并不妨礙氮的滲入，結(jié)果滲氮速度減慢，表面出現(xiàn)軟區(qū)，甚至完全滲不上氮。七分鐘含氧量較多時(shí)，也經(jīng)常發(fā)現(xiàn)在零件表面沉積著一層黑色的粉末，一擦即掉。X衍射結(jié)構(gòu)分析表明他們主要是Fe₃O₄和Fe₄N的混合物。
        一般結(jié)構(gòu)鋼在5*10^-1托極限真空度的爐子中處理，滲氮層的硬度和深度與在正常設(shè)備中滲氮的沒有明確區(qū)別。但對于含有大量鉻的高合金鋼，由于極容易生成穩(wěn)定的CrO薄膜，難以通過濺射清理完全去除。因此設(shè)備密閉性較差時(shí)將出現(xiàn)硬度和層深不均勻的現(xiàn)象。
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