1.停止抽氣和供氣，切斷輝光電源，在原滲氮的氣氛中隨爐冷卻。如果設備的密閉性不高，漏氣率較大時，為避免零件在冷卻過程中氧化，可以停泵和切斷輝光電流后向爐內(nèi)繼續(xù)沖入分解氨，當爐壓達30-50托后關斷氣源。此法操作最為簡便，省時，能保證滲氮后得到銀灰色的表面。
2.切斷輝光電源和氣源后將爐子抽到最高的真空度，滲氮零件在抽氣的過程中冷卻。
3.切斷輝光電源，供氣和抽氣系統(tǒng)繼續(xù)工作，滲氮零件在流動新鮮滲氮氣氛中冷卻。
4.在稀薄的輝光保護下逐漸降溫至250℃以下，再停電隨爐冷卻。
離子滲氮后零件需要快速冷卻時，可向爐內(nèi)通入惰性氣體，并用安置在爐內(nèi)的特制風扇強制冷卻。青島豐東熱處理生產(chǎn)的離子氮化爐在降溫階段充入氮氣，同時開啟爐內(nèi)攪拌風扇和爐外冷卻風扇進行快速降溫冷卻，保證工件不被氧化的同時加快冷卻速度，冷卻效率提高50%以上。
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