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1.滲氮前的零件表面清洗
        通常使用氣體去油法去油后立刻滲氮
2.排除滲氮爐中的空氣
        將被處理零件置于滲氮爐中，并將爐蓋密封后即可加熱，但加熱至150℃以前須作排除爐內(nèi)空氣工作。排除爐內(nèi)空氣的主要目的是使參與滲氮處理的氣體只有氨氣和氮氣兩種氣體，防止氨氣分解時與空氣接觸而發(fā)生爆炸性氣體，及防止被處理零件及支架的表面氧化。
3.氨的分解率
        滲氮是其它合金元素與初生態(tài)的氮接觸而進行(初生態(tài)氮的產(chǎn)生，由氨氣與加熱中的零件接觸時零件本身成為觸媒而促進氨的分解)，雖然在各種分解率的氨氣下，皆可滲氮，但一般都采用15～30%的分解率，并按滲氮所需厚度保持4～10小時，處理溫度保持在520℃左右。
4.冷卻
        大部份的工業(yè)用滲氮爐都有熱交換機，在滲氮工作完成后冷卻加熱爐及被處理零件。即滲氮完成后，將加熱電源關(guān)閉，使爐溫降低約50℃，然后將氨的流量增加一倍后開啟熱交換機，此時須注意確認爐內(nèi)壓力為正壓。等候?qū)霠t中的氨氣安定后，即可減少氨的流量至保持爐內(nèi)正壓為止，當爐溫下降至150℃以下時，方可啟開爐蓋。
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